祝賀江蘇大學(xué)磁控濺射系統(tǒng)成功應(yīng)用六周年
來(lái)源:那諾-馬斯特中國(guó)有限公司 發(fā)布時(shí)間:2022/11/21 14:13:12 點(diǎn)擊次數(shù):3092
江蘇大學(xué)的磁控濺射系統(tǒng)成功應(yīng)用六周年,那諾-馬斯特*有限公司正式表達(dá)祝賀。自驗(yàn)收開(kāi)始,截止目前為止,該磁控濺射系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定正常。
該系統(tǒng)給用戶提供了RF濺射能力和DC直流濺射能力,可以支持金屬濺射、導(dǎo)磁材料濺射,以及介質(zhì)材料濺射和序列濺射,和反應(yīng)濺射。該系統(tǒng)在客戶的微納工藝的應(yīng)用方面提供了重要的作用,系統(tǒng)展現(xiàn)出快速濺射能力、高度的均勻性、高重復(fù)性和穩(wěn)定性。
NANO-MASTER那諾-馬斯特的磁控濺射系統(tǒng)型號(hào)包含NSC-1000型單金屬靶材的臺(tái)式濺射系統(tǒng),不但可用于電鏡制備,也可以用于常規(guī)的金屬濺射。NSC-3000為可支持*多4個(gè)靶的DC濺射或RF濺射的臺(tái)式系統(tǒng)。NSC-3500為緊湊型獨(dú)立式磁控濺射系統(tǒng),可以支持金屬材料的DC濺射,介質(zhì)材料的RF濺射,以及脈沖DC濺射等應(yīng)用。NSC-4000型為獨(dú)立式磁控濺射系統(tǒng),可支持共濺射等能力的擴(kuò)展。